停水事故（供水设备故障，水泵控制电路 故障，管路故障，水池缺水，停电）

　　发生停水时采取的措施： 发生停水时，立即打开停水炉子的事故水进水阀（一般为消 防水，）。 1.当炉台水压不够或完全停止的时候，炉台会做出自我保护 措施停止加热从而出现DC电源打火报警. 2.如果水压不能及时恢复,在等径的炉台立即将晶棒与液面脱 离,防止结晶.关闭晶转锅转. 3.加大氩气流量,蝶阀全部打开,加速冷却. 4.如果结晶时间超过15分钟原料较多的炉台将导流筒顶起, 石英坩埚不可顶到大盖,防止硅料膨胀后把大盖涨坏. 做好上续措施后水压还未恢复的时候要仔细观察炉台。 停 水后水压恢复：

　　1.冷却水恢复供应时，关闭事故水阀门，监控水压，有异常立即报 告管理人员。 2.水压恢复时，炉内无氧化现象，熔体未结晶或已结晶但液面结晶 小于4分钟且石英坩埚未破裂，按加热功率开，调节功率到熔料功率。 3.启动埚转，设定为1转/分，打开埚转前，确保埚转电位器处于零 位。 4 .熔化结晶面，在此期间应密切炉内有无氧化现象，注意硅料液面 熔化情况，一旦发生氧化现象、硅液面下降，立即停炉并上报管理人员。 5.晶体处理同晶变单晶一致，待结晶全熔后，手动调节功率为引晶 功率，温度稳定后，开始引晶。 停水后水压无法恢复，或恢复时熔体已结晶大于4分钟。 1.快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。 2.在熔体结晶40分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。 3.停炉，充分冷却后拆炉。

　　一．把停水的原因查清进行处理，同时向相关领导（直属上 级）和相关部门（设备部，安全办）进行报告； 二．在事故发生时，安全员，外围设备操作工，单晶班长和 单晶员工各司其责，有条不紊的进行处理，不要造成不必要 的混乱； 三．一般停水事故会发生在以下几个方面：一，水泵故障停 水（启动备用水泵）；二，水池缺水（关闭进水阀门，向进 水管道中补充应急水；另一方面，向水池补充ao水，恢复正 常生产）；三，管道系统中出现泄漏；尽量堵漏等停炉后进 行维修； 四．事故解决后，要认真检查水，电，气等的各类参数，确 定没有问题，开始正常生产；

　　石墨坩埚裂开时采取措施：

　　1．石墨坩埚裂开可观察电压电流表状态，是否有抖动现象。 2．有抖动现象说明与加热器相擦，应立即关闭功率。 3．退出控制柜面板上单晶生长自动控制器，使其处于手动 状态。 4．关闭埚转。 5．快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。 6．在熔体结晶40分钟，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚 顶起导流筒100mm。 7．停炉，充分冷却后拆炉。

　　炉内漏水或观察窗玻璃裂开：

　　1．当炉内出现大量漏水或观察窗玻璃裂开时，则立即关闭 功率。 2．关闭所漏部位的水源，关闭阀门及真空泵，对炉内进行 充氩气至50KPa左右，关闭氩气。若观察窗玻璃裂开时确认 炉内未出现大量漏水可不关闭阀门及真空泵蝶阀但要随时观 察炉内情况，以采取应急措施。 3．退出自动控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动 状态。 4．关闭埚转。 5．快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。 6．在熔体结晶40分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩 埚顶起导流筒100mm。 7．停炉，充分冷却后拆炉

　　电器短路起火（用电负荷过大，接线松脱，电 器内灰尘，杂物过多） ? 1.当电器起火时，首先关闭控制电器的电源 总开关， ? 2.如有明火时，用干粉灭火器扑灭， ? 3.按照实际情况进行修理或更换； ? 4.故障排除后，经检查无误再恢复生产；

　　工伤事故（一般车间工伤事故，酸洗车间工伤事故）

　　a. 1.一般车间发生工伤事故后，由当班管理人员向安全员汇报，同时向直 属上级领导进行汇报， 2.在等待安全员到达的同时，进行必要的施救； 3.如遇情况危急，可在安全员未到现场情况下，送患者去医院抢救； 4.安全员到达现场处理时，所有人员必须听从安全员的指挥； 5.在安全员了解事故情况时，相关人员必须如实回答，不得欺骗，隐瞒； 6.在事故没有完全结束时，安全员要随时关注事情的进展，并对相关人 员进行反馈； 7.当事故结束后，安全员应召集相关人员开安全事故鉴定会，对相关事 宜进行处理；

　　b.1.当酸洗车间发生化学品以身体接触造成事故，首先，立即 用大量清水冲洗患处 10-20分钟，用毛巾擦干水渍，在患处涂上药膏； 2.事故发生时，由当班管理人员向安全员汇报，同时向直属 上级领导进行汇报； 3. 在等待安全员到达的同时，进行必要的施救； 4. .如遇情况危急，可在安全员未到现场情况下，送患者去医 院抢救； .5. 安全员到达现场处理时，所有人员必须听从安全员的指挥； 6..在安全员了解事故情况时，相关人员必须如实回答，不得 欺骗，隐瞒； 7. 在事故没有完全结束时，安全员要随时关注事情的进展， 并对相关人员进行反馈 8. .当事故结束后，安全员应召集相关人员开安全事故鉴定会， 对相关事宜进行处理；

　　后语

　　其实在单晶车间出现事故并不可怕，可怕的 是班组长不懂得如何对事故进行应急，以减 少事故本身带来的损失。因此对车间班组长事故应急指挥，车间操作 员工的安全应急预案培训必须严格落实，每 周必须培训，每月进行现场应急操作考核。