文档作者:
杨敏杰
文档来源:
深圳方正微电子有限公司 |
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更新时间: 2015年04月27日 |
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论述了特气的性质及分类,对特气输送系统的主要构成单元:尾气处理器、特气气柜/气架、特气分配箱/分配盘、输送管线和特气监控/侦测系统的功能和用途进行了介绍,为避免特气输送系统出现泄漏,对特气系统日常安全运行管理和特气泄漏应急处理提出了建议。 |