序号 | 装置 | 操作温度(℃) | 操作压力（MPa） | 介质 | 作业人数（人） | 作业时间 |
1 | 精馏塔 | 110 | 0.56 | 三氯氢硅 | 2 | 15分钟 |
2 | 吸收塔 | -40～-38 | 1.36 | 氯硅烷、H2、HCL | 2 | 15分钟 |
3 | 解析塔 | 塔釜125-135 塔顶-25～-30 | 0.9 | 氯硅烷、H2、HCL | 2 | 15分钟 |
4 | D-104尾气吸气缓冲罐 | 20-60 | 1.35 | 氯硅烷、H2、HCL | 2 | 15分钟 |
5 | V0309氢气缓冲罐 | 25 | 1.35 | 氯硅烷、H2、HCL | 2 | 15分钟 |
6 | 电加热器 | 550 | 3 | 三氯氢硅、H2、HCL | 2 | 15分钟 |
7 | 氢气储罐（20m3） | 20 | 1.6 | 氢气 | 3以上 | 每天不定时 |
8 | 氢气缓冲罐（1.04m3） | 20 | 1.6 | 氢气 | 1-2 | 15分钟 |
9 | 电解槽 | 80-90 | 1.6 | KOH溶液 | 1-2 | 15分钟 |
10 | 还原炉 | 1090 | 0.6 | 氢气、三氯氢硅 | 1-2 | 15分钟 |
11 | 硅芯炉 | 1 | 24小时 | |||
12 | 冷冻机 | 氢气、HCL、氯硅烷 | 1-2 | 15分钟 | ||
13 | 空气压缩机 | 0.8-2.5 | 空气 | 1-2 | 15分钟 | |
14 | 液氮储罐 | -196 | 0.85 | 氮气 | 1-2 | 1小时/周 |
15 | 液氩储罐 | -196～-40 | 3 | 氩气 | 1-2 | 1小时/周 |
16 | 四氯化硅储罐 | 20 | 0.5 | 四氯化硅 | 2 | 15分钟 |
岗位 | L（发生事故的可能性） | E（人暴露于危险环境的频繁程度） | C（发生事故产生的后果） | D | 风险级别 |
精馏塔 | 1 | 6 | 40 | 240 | Ⅱ |
吸收塔 | 1 | 6 | 7 | 42 | Ⅳ |
解析塔 | 1 | 6 | 15 | 90 | Ⅲ |
D-104氢气缓冲罐 | 1 | 6 | 15 | 90 | Ⅲ |
V0309氢气缓冲罐 | 1 | 6 | 15 | 90 | Ⅲ |
电加热器（氢化） | 3 | 6 | 15 | 270 | Ⅱ |
氢气储罐（20m3） | 1 | 6 | 40 | 240 | Ⅱ |
氢气缓冲罐（1.04m3） | 1 | 6 | 15 | 90 | Ⅲ |
电解槽 | 0.5 | 6 | 15 | 45 | Ⅳ |
还原炉 | 3 | 6 | 15 | 270 | Ⅱ |
硅芯炉 | 0.5 | 10 | 2 | 10 | Ⅴ |
冷冻机 | 0.5 | 6 | 7 | 21 | Ⅳ |
空气压缩机 | 1 | 3 | 7 | 21 | Ⅳ |
液氮储罐 | 0.5 | 3 | 7 | 10.5 | Ⅴ |
液氩储罐 | 0.5 | 3 | 7 | 10.5 | Ⅴ |
四氯化硅储罐 | 1 | 6 | 15 | 90 | Ⅲ |
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