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电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标 准 号: GB/T 34972-2017
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位: 上海市计量测试技术研究院等
发布日期: 2017-11-01
实施日期: 2018-05-01
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更新日期: 2018年02月05日
内容摘要

本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。
本标准适用的电子工业用气体种类:氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。
本标准适用的电子工业用气体取样状态:气态。

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