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机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件

标 准 号： GB/T 5226.33-2017
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位： 中微半导体设备(上海)有限公司
发布日期： 2017-10-14
实施日期： 2018-05-01
点 击 数：
更新日期： 2018年04月15日
内容摘要

GB/T 5226的本部分规定了半导体设备相关的制造、测量、组装和测试的电气、电子和可编程电子设备及系统的安全要求。
 

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