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1 总则 2 术语 3 特总气体站房 4 特种气体工艺系统 5 硅烷站 6 特种气体管道输送系统 7 建筑结构 8 电气与防雷 9 生命安全系统 10 给水排水及消防 11 采暖通风与空气调节 12 特种气体系统工程施工 13 特种气体系统验收 附录 本规范用词说明 引用标准名录 附:条文说明