导航: >> 安全标准>> 行业标准>> 化工>>正文

电子工业用气体 三氟化硼

标 准 号: GB/T 14603-2009
替代情况: 替代 GB/T 14603-1993
发布单位: 国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位: 核工业理化工程研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院
发布日期: 2009-10-30
实施日期: 2010-05-01
点 击 数:
更新日期: 2010年11月09日
内容摘要

本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。
本标准适用于以氟气和硼单质为原料,采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼;和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。

如需帮助,请联系我们。联系电话400-6018-655。
网友评论 more
创想安科网站简介会员服务广告服务业务合作提交需求会员中心在线投稿版权声明友情链接联系我们
Baidu
map