本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
花生黄曲霉毒素检测抽样技术规程页岩气 地震资料处理解释和预测要求页岩气 气井试气作业规范地热钻井钻头使用基本规则和磨损评定…地热废弃井及长停井处置规范页岩气 页岩损失气量的计算方法地热测井资料处理解释规程水热型地热尾水回灌技术规程
常用化学危险品贮存通则【作废】工业管道的基本识别色、识别符号和安…气瓶颜色标志【作废】危险化学品从业单位安全标准化通用规范常用危险化学品的分类及标志【作废】纺织工业企业安全管理规范化工企业安全卫生设计规定【作废】危险化学品贮存通则
