本标准规定了电子工业用氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
    本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛,作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。