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硅多晶

标 准 号： YB 1601-1983
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国冶金工业部
起草单位： 峨眉半导体材料厂
发布日期： 1983-08-18
实施日期： 1984-10-01
点 击 数：
更新日期： 2011年12月25日
内容摘要

      本标准适用于三氯氢硅、四氯化硅氢还原法和硅烷热分解法抽取的棒状高级硅多晶。

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