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工业高纯氢氟酸

标 准 号: HG/T 4509-2013
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 浙江凯恒电子材料有限公司等
发布日期: 2013-10-17
实施日期: 2014-03-01
点 击 数:
更新日期: 2015年08月18日
内容摘要

本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。
本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻,以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。

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