现行
导航: >> 安全标准>> 行业标准>> 化工>>正文

硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范

标 准 号: GB/T 28275-2012
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所、重庆大学、东南大学、中国电子科技集团第四十九研究所等
发布日期: 2012-05-11
实施日期: 2012-12-01
点 击 数:
更新日期: 2016年11月24日
内容摘要

本标准规定了采用氢氧化钾腐蚀工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求。
本标准适用于氢氧化钾腐蚀工艺和管理。

如需帮助,请联系我们。联系电话400-6018-655。
网友评论 more
创想安科网站简介会员服务广告服务业务合作提交需求会员中心在线投稿版权声明友情链接联系我们
Baidu
map