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表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

标 准 号： GB/T 29557-2013
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位： 中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所
发布日期： 2013-07-19
实施日期： 2014-03-01
点 击 数：
更新日期： 2017年02月15日
内容摘要

本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。
本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。

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