本标准规定了使用电子探针波谱法进行元素面分析的方法。本标准规范了移动电子束对试样扫描的面分析(电子束面分析)和移动试样台的面分析(大面积面分析)两种模式的选择,给出了五种数据处理的方式:原始X射线强度法、K值法、校正曲线法、对比法和基体校正法。