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电子工业用气体 六氟化钨

标 准 号: GB/T 32386-2015
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位: 中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司
发布日期: 2015-12-31
实施日期: 2016-07-01
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更新日期: 2017年05月12日
内容摘要

本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。
本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。
分子式:WF6。
分子量:297.8304192(按2009年国际相对原子质量计算)。

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