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本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法,用于识别表面常规元素。另外,本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%,微分模式调制幅度的峰值为 ?2 eV?,配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法,具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。