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工业用混合气体 硅烷/氮气

标 准 号: HG/T 5895-2022
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 广东华特气体股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司
发布日期: 2022-10-20
实施日期: 2023-04-01
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更新日期: 2023年06月14日
内容摘要

本文件规定了工业用氮中硅烷混合气体的制备方法、试验方法,确立了检验规则,规定了混合气体的技术要求、标志、包装、储存及安全信息的要求。
本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮(或超纯氮)为原料制备的混合气体。

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