本文件界定了表面化学分析领域扫描探针显微术方面的术语，并给出了相关缩略语清单(见附录A)。
本文件适用于表面化学分析中扫描探针显微术相关的教学、科研、设计、制造、编写相关技术文件和书刊及技术交流。
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