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MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

标 准 号： GB/T 33922-2017
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位： 北京大学、中机生产力促进中心、北京必创科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学
发布日期： 2017-07-12
实施日期： 2018-02-01
点 击 数：
更新日期： 2017年12月01日
内容摘要

本标准规定了MEMS压阻式压力敏感芯片（简称压力敏感芯片）的术语和定义、试验条件、试验的一般规定、试验内容和方法。 本标准适用于闭环和开环MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验。

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