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焦深与最佳聚焦的测量规范

标 准 号： GB/T 17865-1999
替代情况：
发布单位： 国家质量技术监督局
起草单位： 中国科学院微电子中心
发布日期： 1999-09-01
实施日期： 2000-06-01
点 击 数：
更新日期： 2020年02月04日
内容摘要

本标准只涉及集成电路生产中所用的光刻技术及其关系密切的技术的聚集与焦深测量问题。由于设备技术多种多样，因而不可能提出这些参数的明确测量方法。本标准只提供基本准则。

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