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半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法

标 准 号： SJ/T 11487-2015
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位： 工业和信息化部电子工业标准化研究院
发布日期： 2015-04-30
实施日期： 2015-10-01
点 击 数：
更新日期： 2021年04月09日
内容摘要

本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的非接触式测量方法。

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