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高纯四氧化硅

标 准 号： SJ 2593-1985
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国电子工业部
起草单位： —
发布日期： 1985-07-31
实施日期： 1986-01-01
点 击 数：
更新日期： 2022年06月21日
内容摘要

本标准适用于生长半导体器件及集成电路的硅外延片和生产光通讯器件用光纤予制件的四氯化硅。


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