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半导体设备制造信息标识要求

标 准 号: SJ/T 11762-2020
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 中国电子技术标准化研究院 等
发布日期: 2020-12-09
实施日期: 2021-04-01
点 击 数:
更新日期: 2022年07月24日
内容摘要

本标准规定了半导体设备制造信息标识的术语和定义、设计和原则、使用及相应的综合标签库。半导体设备制造信息标识包括半导体制造设备选择、安装、使用和维护时需要的各种类型的技术和商业信息。信息类型包括操作手册/指南、安装手册、维护手册、维护计划、备件/零部件清单、维修/故障排除手册、发行说明、培训手册等。

如需帮助,请联系我们。联系电话400-6018-655。
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