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MEMS 惯性器件结构设计要求

标 准 号： SJ 21261-2018
替代情况：
发布单位： 国家国防科技工业局
起草单位： 中国电子科技集团公司第十三研究所
发布日期： 2018-01-18
实施日期： 2018-05-01
点 击 数：
更新日期： 2022年09月17日
内容摘要

本标准规定了MEMS惯性器件敏感结构的设计要求。


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