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金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证方法

标 准 号: SJ 21260-2018
替代情况:
发布单位: 国家国防科技工业局
起草单位: 中国电子科技集团公司第十三研究所
发布日期: 2018-01-18
实施日期: 2018-05-01
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更新日期: 2022年09月17日
内容摘要

本标准规定了金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证的一般要求、试验条件和验证方法等内容。


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