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离子束溅射镀膜设备通用规范

标 准 号： SJ 21257-2018
替代情况：
发布单位： 国家国防科技工业局
起草单位： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
发布日期： 2018-01-18
实施日期： 2018-05-01
点 击 数：
更新日期： 2022年09月17日
内容摘要

本规范规定了离子束溅射镀膜设备的通用要求、质量保证规定、交货准备。


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