本文件描述了微透镜阵列中微透镜波前像差测试的测试装置及设备、测试前准备、测试原理及测试程序等内容。
本文件适用于在共同基底的内部或一个或多个表面上形成的由非常小的透镜组成的微透镜阵列的波前像差测试。
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