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谐波保护器

标 准 号: SJ/T 11776-2021
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 中国电子技术标准化研究院 等
发布日期: 2021-03-05
实施日期: 2021-06-01
点 击 数:
更新日期: 2023年04月30日
内容摘要

本标准规定了半导体材料多线切割机的术语和定义、产品分类和规格、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于切割单晶硅、多晶硅、锗以及蓝宝石等各种硬脆性半导体材料的多线切割机。本标准适用于以压缩空气为工作介质的真空发生器,根据喷管种类可分为压力型和流量型。

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