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微机电系统（MEMS）技术 术语

标 准 号： GB/T 26111-2023
替代情况： 替代 GB/T 26111-2010
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 上海交通大学、天津大学、北京航天控制仪器研究所、西安现代控制技术研究所等
发布日期： 2023-05-23
实施日期： 2023-09-01
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更新日期： 2023年12月03日
内容摘要

本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

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