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晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备 第1部分:管式 PECVD 设备

标 准 号: SJ/T 11829.1-2022
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 中国电子技术标准化研究院 等
发布日期: 2022-09-30
实施日期: 2023-01-01
点 击 数:
更新日期: 2023年12月08日
内容摘要

本文件规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。
本文件适用于晶体硅光伏电池用管式 PECVD 设备,产品主要用于在晶体硅光伏电池减反射膜、钝化膜的淀积与氢钝化。

如需帮助,请联系我们。联系电话400-6018-655。
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