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掩模对准曝光机通用技术条件

标 准 号： SJ/T 11079-1996
替代情况： 替代 GB 11481-89
发布单位： 电子工业部
起草单位： 电子工业部标准化研究所 等
发布日期： 1996-11-20
实施日期：
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更新日期： 2024年08月18日
内容摘要

本标准规定了掩模对准曝光机的术语、技术要求、试验方法、检验规则等，还对供货作了规定。


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