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四探针探头通用技术条件

标 准 号: SJ/T 10315-1992
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国电子工业部
起草单位: 国营建中机器厂、中国计量科学研究院
发布日期: 1992-06-15
实施日期: 1992-12-01
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更新日期: 2024年09月01日
内容摘要

本标准规定了四探针探头(以下简称探头)的术语、技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求等。本标准适用于电子和冶金等行业所使用的四探针法测试半导体棒、片、薄层以及金属薄层的电阻率、薄层电阻的电阴的探头。本标准与SJ/T 10314《直流四探针电阻率测试仪通用技术条件》标准配套使用。

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