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洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级

标 准 号: GB/T 25915.8-2021
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 中国电子工程设计院有限公司、苏州市计量测试院、苏州安泰空气技术有限公司 等
发布日期: 2021-08-20
实施日期: 2022-03-01
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更新日期: 2022年05月20日
内容摘要

本文件依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组或类)的浓度,对空气化学污染进行分级。同时,本文件分级技术要求,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数在内的规程。
本文件目前只考虑洁净室运行工况下空气中100g/m3~10-12g/m3的化学污染物浓度。
本文件不涉及那些空气中虽有化学物质存在、但不认为对产品或工艺有危害风险的行业、工艺和生产。
本文件无意探讨空气化学污染物的特性。
本文件不包含对表面化学污染的分级。

如需帮助,请联系我们。联系电话400-6018-655。
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