本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。
本标准适用于压力在10-5 Pa~10-3 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。
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