本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。
本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
三等标准金属线纹尺航测仪器整机精度检定规程滚动轴承 零件碳氮共渗 热处理技术规范地热回灌过滤装置技术要求全球地理信息资源 数据产品规范无人机航空摄影成果质量检查与验收水电工程启闭机设计规范 第4部分：液…高原用移动式现场煤油气相干燥设备的…
砂轮机 安全防护技术条件机械防护安全距离【作废】建筑塔式起重机安全规程【作废】机械加工设备危险有害因素分类【作废】起重机械安全规程【作废】机械设备防护罩安全要求【作废】塔式起重机操作使用规程金属切削机床安全防护通用技术条件【…
