本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式和基本参数﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则及标志﹑包装﹑运输﹑贮存等要求。
本标准适用于极限压力在5×10-4 Pa～5×10-3 Pa范围内的真空蒸发镀膜设备。
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