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真空技术 磁悬浮分子泵

标 准 号: JB/T 12585-2016
替代情况:
发布单位: 工业和信息化部
起草单位: 沈阳真空技术研究所
发布日期: 2016-01-15
实施日期: 2016-06-01
点 击 数:
更新日期: 2017年04月05日
内容摘要

本标准适用于具有前级泵的磁悬浮分子泵(以下简称磁浮泵)。

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