本部分规定了能量色散X射线荧光镀层厚度分析仪的术语和定义、测量范围、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本部分适用于采用X射线管为激发源，对镀层厚度进行无损测试的能量色散X射线荧光光谱仪，采用其它激发源的仪器可参照使用。
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