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基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

标 准 号： GB/T 38614-2020
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 沈阳建筑大学、三英精控（天津）仪器设备有限公司、广东工业大学
发布日期： 2020-04-28
实施日期： 2020-11-01
点 击 数：
更新日期： 2020年05月19日
内容摘要
本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。 
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如需帮助，请联系我们。联系电话400-6018-655。
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