本标准适用于微系统用生产设备，规定了微系统生产设备中末端执行器和操纵系统之间的接口要求，以及手动和自动更换的末端执行器的基本偏差、公差和标识。其目的是随着规格的增大在三个层面上规定末端执行器接口。
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