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激光衍射法反射光栅校准规范

标 准 号: JJF 1967-2022
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局
起草单位: 中国计量科学研究院
发布日期: 2022-04-29
实施日期: 2022-10-29
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更新日期: 2022年07月17日
内容摘要

本规范适用于平均间距为(140~2000)nm、能观测到衍射现象的一维或二维反射光栅的校准。


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