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精密硅片磨床完好要求和检查评定方法

标 准 号： SJ/T 31096-1994
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国电子工业部
起草单位： 上海市仪表电讯工业局
发布日期： 1994-04-15
实施日期： 1994-06-01
点 击 数：
更新日期： 2022年12月03日
内容摘要

本标准规定了精密硅片磨床的完好要求与检查、评定方法。


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