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平面相移干涉仪

标 准 号: JB/T 13872-2020
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 上海光学仪器研究所、苏州慧利仪器有限责任公司
发布日期: 2020-04-16
实施日期: 2021-01-01
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更新日期: 2024年02月18日
内容摘要

本标准规定了平面相移干涉仪的术语和定义、型式与基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉仪。

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