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直写成像式曝光设备

标 准 号： GB/T 43725-2024
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司、广州兴森快捷电路科技有限公司
发布日期： 2024-03-15
实施日期： 2024-10-01
点 击 数：
更新日期： 2024年04月29日
内容摘要

本文件适用于印制电路板及集成电路封装基板用直写成像式曝光设备的设计、研发、验证、制造、使用及检验等过程。


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