本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷比较少且彼此不相连，本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
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