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硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

标 准 号: YS/T 23-2016
替代情况: 替代 YS/T 23-1992
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 南京国盛电子有限公司
发布日期: 2016-04-05
实施日期: 2016-09-01
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更新日期: 2017年12月26日
内容摘要

本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。
本标准适用于在<111>、<100>和<110>晶向的硅单晶衬底上生长的2μm~120μm硅外延层厚度的测量。

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