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化学气相沉积炉

标 准 号: YS/T 1031-2015
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
发布日期: 2015-04-30
实施日期: 2015-10-01
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更新日期: 2018年05月10日
内容摘要

本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。本标准适用于化学气相沉积。

如需帮助,请联系我们。联系电话400-6018-655。
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