本标准规定了用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的代位碳原子浓度、施主杂质浓度和受主杂质浓度的方法。
本标准适用于尺寸在600μm～3000μm的颗粒状多晶硅，其他尺寸的颗粒状多晶硅可参照本标准执行。
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