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溅射用钽靶材

标 准 号: YS/T 1024-2015
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、西安方科新材料科技有限公司
发布日期: 2015-04-30
实施日期: 2015-10-01
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更新日期: 2018年12月14日
内容摘要

本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钽靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料,通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材。

如需帮助,请联系我们。联系电话400-6018-655。
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