本标准第1部分规定了三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定方法，适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定，检测范围为0.00001%～1.00%。
本标准第2部分规定了四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定方法。
本标准适用于四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定，检测范围为0.00001%～1.00%。
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